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1、該文對(duì)用溶膠-凝膠技術(shù)制備的ITO薄膜進(jìn)行了系統(tǒng)的分析和研究.該文用銦金屬(In)和結(jié)晶四氯化錫(SnCl<,4>.5H<,2>O)作為原材料在玻璃基體上制備出了性能優(yōu)異的ITO薄膜.文中分別對(duì)Sn摻雜量為5wt﹪、8wt﹪、10wt﹪、12wt﹪的ITO薄膜進(jìn)行了光電性能分析,發(fā)現(xiàn)摻雜量約10wt﹪的ITO薄膜具有最好的光電性能,其方塊電阻低于170Ω/□,可見(jiàn)光區(qū)的透射率大于88﹪.分析熱處理溫度對(duì)ITO薄膜的光電性能影響發(fā)現(xiàn),IT
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