精密片式薄膜固定電阻器的研究與制備.pdf

1、精密片式薄膜固定電阻器是一種應(yīng)用廣泛的通用電子元件，尤其在需要高穩(wěn)定性、高可靠性的航天、航空、國防以及在電子計(jì)算機(jī)、通訊儀器、電子交換機(jī)中應(yīng)用較多。外資企業(yè)幾年前就已經(jīng)開始批量生產(chǎn)，我國臺(tái)灣企業(yè)也是從前兩年開始量產(chǎn)，但大陸目前只有極個(gè)別的廠家能夠生產(chǎn)此類產(chǎn)品。本文的研究課題就是在這種背景下提出并著手研究的。
　　本文主要采用雙離子束濺射法制備固定電阻器用薄膜材料，并通過熱處理、激光調(diào)阻、端涂、電鍍等工序，最后制備出符合要求的精密片

2、式薄膜固定電阻器。
　　為制備出性能優(yōu)良的精密片式薄膜固定電阻器，本文分兩部分展開了研究。第一部分是電阻薄膜材料制備工藝與性能研究，重點(diǎn)研究低溫度系數(shù)電阻薄膜的制備方法。從陶瓷基片表面粗糙度和潔凈度、襯底溫度、濺射功率、濺射時(shí)間和熱處理溫度對(duì)薄膜性能的影響等著手，通過對(duì)多種工藝因素的反復(fù)實(shí)驗(yàn)，最終制備出電阻溫度系數(shù)小于10 ppm/℃的電阻膜層。
　　在第二部分“薄膜電阻的高精度研究”中，通過對(duì)“優(yōu)化蛇形切割以提高薄膜產(chǎn)品調(diào)