聲表面波直線型超聲電機(jī)的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、聲表面波直線型超聲電機(jī)是一種利用高頻聲表面波、通過(guò)摩擦驅(qū)動(dòng)的步進(jìn)超聲電機(jī),二十世紀(jì)末發(fā)展起來(lái)的最典型一種新型電機(jī).與傳統(tǒng)的超聲電機(jī)相比具有很高的分辨率(高達(dá)幾個(gè)納米)、高的輸出力、高速和高能量密度.另外由于這種電機(jī)應(yīng)用了聲表面波技術(shù),容易實(shí)現(xiàn)微型化,容易與半導(dǎo)體器件集成,具有廣泛應(yīng)用前景.聲表面波直線型主要由三部分構(gòu)成:定子、叉指換能器、滑塊.通過(guò)在叉指換能器上施加高頻電壓,從而使壓電材料表面產(chǎn)生聲表面波,聲表面波在壓電上傳播,使定子和

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