聲表面波器件中聲波傳播特性的研究.pdf

1、聲表面波器件作為一種新型的電子器件，近年來無論是在科學(xué)研究領(lǐng)域還是實際應(yīng)用領(lǐng)域都有了很大的發(fā)展。聲表面波器件種類繁多，主要有表面波濾波器、無線傳感器、諧振器、延遲線、匹配濾波器、振蕩器、表面波卷積器等。由于聲表面波器件具有小型、可靠性高、一致性好、多功能以及設(shè)計靈活等優(yōu)點，所以它在現(xiàn)代無線通訊領(lǐng)域、光纖通訊網(wǎng)絡(luò)、空中交通管制、電子戰(zhàn)、無損檢測、聲納以及電視技術(shù)中得到了廣泛的應(yīng)用。 聲表面波器件的制造離不開對聲表面波在器件所使用的

2、壓電材料中的傳播特性的研究，本文做的正是這方面的工作。因為薄膜材料的應(yīng)用是聲表面波器件的一個重要的發(fā)展方向，所以我選擇了聲表面波在分層介質(zhì)中的傳播特性作為研究內(nèi)容。第一章，我們介紹了聲表面波在分層介質(zhì)中傳播特性的基本研究方法。第二章，利用第一章所講的理論對聲表面波在器件制造中常用的壓電材料LiNbO3和石英中的傳播特性進行了研究，并且研究了聲表面波在覆蓋了金屬、硅或石英薄膜后的X切Y傳LiNbO3中的傳播特性。第三章，我們對聲表面波在幾