聲表面波慣性器件傳感檢測(cè)技術(shù)研究.pdf

1、慣性傳感器的品性是保證自主性慣性導(dǎo)航系統(tǒng)性能的重要因素。作為一種靈敏度極高的傳感器，深入研究聲表面波 (Surface Acoustic，Wave，SAW)慣性器件的傳感機(jī)理及其檢測(cè)技術(shù)，不僅具有理論意義，而且具有工程實(shí)用價(jià)值。該論文開展并取得的研究成果有兩個(gè)方面。一個(gè)在懸臂梁式SAW加速度傳感器方面；另一個(gè)在SAW陀螺效應(yīng)的探測(cè)理論和檢測(cè)技術(shù)研究方面。 SAW加速度傳感器方面扼要地介紹了聲表面波理論、聲表面波叉指換能器(IDT

2、)、聲表面波諧振器(SAWR)、聲表面波振蕩器(SAWO)、聲表面波濾波器(SAWF)工作原理以及SAW加速度傳感器原理之后，分析了現(xiàn)有懸臂梁式SAW加速度傳感器存在的一些主要問題，并研究了針對(duì)它們的實(shí)際解決方案和工程設(shè)計(jì)原則。 論文在懸臂梁式SAW加速度傳感器研究方面取得的具體成果有： 1．完成石英懸臂梁SAW加速度計(jì)的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，提高了SAW加速度傳感器測(cè)量過(guò)程的敏感性、準(zhǔn)確性及其工作性能； 2．利用浮動(dòng)零點(diǎn)思

3、想，不僅進(jìn)一步抑制了溫度等干擾因素對(duì)加速度計(jì)的影響，而且降低了其加工制作的難度； 3．研究了階躍加速度慣性力激勵(lì)下，懸臂梁式SAW加速度計(jì)差頻輸出的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特征。改變了目前SAW加速度傳感器理論研究中缺乏動(dòng)荷載激勵(lì)研究的現(xiàn)狀，豐富了懸臂梁式SAW加速度傳感器的研究理論； 4．用SAW濾波器為SAW加速度計(jì)增添了加速度方向判斷功能，為其利用電容器靜電力保護(hù)懸臂梁和實(shí)時(shí)調(diào)整量程奠定了基礎(chǔ)； 5．研究了階躍加速度的測(cè)量

4、技術(shù)和測(cè)量方案，改進(jìn)了現(xiàn)有懸臂梁式SAW加速度計(jì)的工作性能，設(shè)計(jì)出了可根據(jù)被測(cè)加速度大小實(shí)時(shí)調(diào)整量程的SAW加速度計(jì)。 SAW陀螺效應(yīng)檢測(cè)技術(shù)研究方面根據(jù)固體波動(dòng)理論，論證了SAW陀螺效應(yīng)的存在性。鑒于國(guó)外SAW陀螺儀的研究現(xiàn)狀、光學(xué)測(cè)量高精度的特點(diǎn)和近代聲光物理學(xué)的成就，提出了利用聲光互作用布拉格衍射現(xiàn)象，探測(cè)和檢測(cè)SAW陀螺效應(yīng)的技術(shù)思想。SAW聲光陀螺的基本思想是通過(guò)聲光相互作用，讓光把寄載著陀螺效應(yīng)的SAW信息從SAW介

5、質(zhì)(同時(shí)也是聲光介質(zhì))中攜帶出來(lái)，通過(guò)布拉格聲光測(cè)量技術(shù)達(dá)到推測(cè)聲光介質(zhì)旋轉(zhuǎn)角速度大小的目的。論文扼要介紹了聲光布拉格衍射物理效應(yīng)?；诔暡軌蛘{(diào)制衍射光出刺角度的聲光物理理論，從檢測(cè)工程角度研究了sAW陀螺效應(yīng)的聲光探測(cè)和檢測(cè)方案。在SAW陀螺效應(yīng)聲光檢測(cè)技術(shù)方面所做的具體工作及取得的研究成果有： 1．論證了SAW陀螺效應(yīng)聲光檢測(cè)方案的可行性；分析了SAW陀螺效應(yīng)的探測(cè)原理及基本測(cè)量公式，討論了sAW陀螺效應(yīng)聲光檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)

6、計(jì)準(zhǔn)則； 2．研究了鈮酸鋰(LiNbO<,3>)晶體的聲光性質(zhì)，分析了在LiNbO<,3>上實(shí)現(xiàn)SAW陀螺效應(yīng)聲光檢測(cè)的可行性； 3．提出了檢測(cè)SAW陀螺效應(yīng)布拉格衍射光微小角度及其變化的CCD檢測(cè)方案。討論了CCD分辨率對(duì)整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)微小角度分辨能力的影響，簡(jiǎn)要分析了CCD測(cè)量系統(tǒng)的敏感度、靈敏度和微小角度的光學(xué)顯微放大技術(shù)。 4．指出了SAW陀螺效應(yīng)聲光檢測(cè)技術(shù)今后的主要研究方向。 總之，SAW介質(zhì)旋