基于ZnO-玻璃結(jié)構(gòu)的聲表面波器件研究.pdf

1、聲表面波器件具有體積小、頻率高、可靠性好的特點(diǎn)，聲表面波器件的應(yīng)用十分廣泛。聲表面波器件可以應(yīng)用于傳感器、微流體等多個(gè)領(lǐng)域。聲表面波傳感器具有無線無源、抗干擾性強(qiáng)、靈敏度高的特點(diǎn)，種類繁多，是傳感器技術(shù)中一個(gè)強(qiáng)大的分支。聲表面波技術(shù)還可以應(yīng)用于微流體領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)、混合、微粒集聚、加熱、霧化功能，是徼流體技術(shù)中一個(gè)有潛力的分支。研究聲表面波技術(shù)具有深遠(yuǎn)的意義。
　　玻璃襯底具有透明性好、成本低廉和易于加工的優(yōu)點(diǎn)。ZnO薄膜透明、無

2、毒且具有良好的壓電性。本文研究了基于ZnO薄膜的玻璃襯底上的聲表面波器件。重點(diǎn)研究了聲表面波器件的紫外、溫頻特性以及在微流體器件中的若干應(yīng)用，還使用COMSOL軟件對器件進(jìn)行了仿真。COMSOL仿真得到了與實(shí)際實(shí)驗(yàn)相符的結(jié)果。紫外測試的結(jié)果顯示該器件對紫外光的反應(yīng)時(shí)間僅1.6秒，其紫外探測的靈敏度高達(dá)36.4ppm/(mW/cm2)。溫頻特性測試的結(jié)果顯示該器件的溫度系數(shù)僅為-9.8ppm/K。微流體測試的結(jié)果顯示該聲表面波器件性能良好