基于聲表面波氣體檢測器件特性的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、相比于傳統(tǒng)的氣體檢測器件，SAW器件具有精度高、體積小、功耗低、適合遠距離傳輸?shù)忍攸c。影響聲表面波器件檢測性能的主要因素有壓電材料的種類、切向及波傳播方向的選取，叉指換能器的設(shè)計，以及敏感膜材料的確定等，本文主要從以上三個方面對SAW器件展開研究。
　　通過對壓電材料的SAW波速和機電耦合系數(shù)的分析，確定壓電材料的種類和切向。本文利用有限元仿真軟件COMSOL Multiphysics5.0對該材料中SAW傳播的過程進行了正反模態(tài)

2、的研究，給出最后的仿真結(jié)果。對叉指換能器的研究中，給出了影響叉指換能器性能的主要因素，討論了電極二次效應(yīng)的影響，設(shè)計了一種性能較好的叉指換能器，并給出相應(yīng)的有限元仿真模型。
　　在鈮酸鋰壓電晶體表面設(shè)計制作了線寬為5μm和10μm的SAW器件，給出具體的工藝過程。并利用磁控濺射技術(shù)在SAW器件的敏感區(qū)形成氧化鋅氣體敏感膜，并用X射線衍射儀和掃描電鏡對所制備的敏感膜進行了測試，并建立了兩種類型的SAW氣體檢測器件的有限元仿真模型，最

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