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文檔簡(jiǎn)介
1、金屬狹縫等極端環(huán)境中進(jìn)行接觸應(yīng)力的測(cè)量有重要的工程應(yīng)用價(jià)值,在課題的前期研究中選用了聲表面波傳感器進(jìn)行狹縫中接觸應(yīng)力的測(cè)量,本文圍繞這一課題背景,研究狹縫中聲表面波器件的信號(hào)傳輸問題。本文研究的難點(diǎn)主要為以下幾點(diǎn)。第一,在狹縫中傳輸高頻信號(hào),傳輸線與芯片的互連封裝必須有足夠薄足夠小的尺寸。二,微波頻段工作中,金屬狹縫對(duì)傳輸線傳輸性能會(huì)產(chǎn)生一定的影響。三,高頻工作時(shí)為了提高傳輸效率,SAW芯片需要與傳輸線阻抗匹配。
本文主要是圍
2、繞以上幾個(gè)問題展開的研究,首先對(duì)互連方式進(jìn)行選擇并優(yōu)化互連結(jié)構(gòu),其次研究了金屬狹縫對(duì)微帶線傳輸性能的影響,然后設(shè)計(jì)并加工了SAW芯片與傳輸線匹配電路并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。具體工作內(nèi)容分以下4方面:
1、研究微連接的幾種互連方法,選擇引線鍵合作為芯片與傳輸線間的連接方式。此外,對(duì)引線鍵合的結(jié)構(gòu)(鍵合線拱高、跨距、直徑及根數(shù)等)進(jìn)行優(yōu)化,以減小鍵合連接對(duì)信號(hào)造成的反射,提高信號(hào)傳輸效率。
2、在屏蔽微帶線的分析方法中選用一種基
3、于準(zhǔn)靜態(tài)法的近似算法來計(jì)算微帶線傳輸性能指標(biāo)(特性阻抗、等效相對(duì)介電常數(shù))隨金屬狹縫寬度的變化。其次,用HFSS軟件對(duì)金屬狹縫中一種微帶線的傳輸進(jìn)行模擬仿真,仿真結(jié)果較為精確,與近似計(jì)算相吻合。此外,還分析了金屬狹縫對(duì)微帶線電長(zhǎng)度的影響。
3、考慮到與微帶線的集成以及金屬狹縫的影響,選用微帶雙枝短截線匹配電路進(jìn)行阻抗匹配。用ADS中的史密斯圓圖工具設(shè)計(jì)出匹配電路,并在HFSS中進(jìn)行匹配電路的結(jié)構(gòu)優(yōu)化。此外,還設(shè)計(jì)出用于鍵合連接
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