PLD法Nd-LuVO-,4-、Nd-GdVO-,4-光波導薄膜的制備及其性質研究.pdf

1、全固態(tài)激光器在科學研究、工業(yè)、醫(yī)學、軍事等許多方面有著十分重要的應用。激光晶體是全固體激光器的重要組成部分，與激光玻璃相比，它具有較低的振蕩閾值，較容易實現(xiàn)連續(xù)運轉。激光晶體波導膜是一個嶄新的研究領域，探索性能優(yōu)異的激光晶體波導膜正成為研究熱點之一?！　”疚难芯苛薔d：LuVO4和Nd：GdVO4光波導薄膜的生長結晶狀況、表面形貌、薄膜中的主要元素的比例以及發(fā)射光強度與有效折射率的關系，并對薄膜的光波導性能做了初步的探索。主要內(nèi)容包括

2、以下幾方面： 1.薄膜的生長。采用脈沖激光沉積法生長Nd：LuVO4和Nd：GdVO4光波導薄膜，研究在不同襯底、不同氣氛、不同襯底溫度、不同氧氣壓強下對生長的薄膜的質量的影響。找出適宜薄膜生長的氣氛、襯底溫度、氧氣壓強等條件。 2.結晶狀態(tài)的研究。利用X射線衍射法對不同氣氛、不同襯底溫度、不同氧氣壓強下生長的薄膜的生長狀態(tài)進行了分析，對薄膜的結晶狀況、易于生長的方向進行了觀察。對薄膜適宜生長的條件做了進一步驗證和分析。

3、 3.表面形貌的觀察。利用原子力顯微鏡對生長的薄膜的表面形貌進行了分析，發(fā)現(xiàn)表面較為光滑、均勻、無較大的顆粒物?？梢杂脕碜鳛楣獠▽П∧?。 4.背散射分析。根據(jù)背散射圖譜對生長的薄膜中的主要元素的比例做了估算，發(fā)現(xiàn)薄膜的成分與靶材的成分基本一致，證明了脈沖激光沉積法生長薄膜的主要優(yōu)勢，并為今后制備要求組分薄膜的設計提供了依據(jù)。 5.效折射率的測量。采用棱鏡耦合法測量了可能形成的波導模及該模所對應的有效折射率。并對薄