有機電致發(fā)光顯示器關鍵工藝技術及其可靠性的研究.pdf

1、隨著有機電致發(fā)光顯示器(OLED)的不斷深入和廣泛的研究以及越來越多的應用，使其為人們所熟知，它多姿多彩的應用為當今的信息社會增添了無數(shù)斑斕。為使OLED有更加廣闊的市場前景，這就需要對OLED顯示的制程工藝及可靠性有更高的要求。
　　 本文首先總體介紹了OLED的發(fā)展概況、結構和顯示原理以及OLED制造工藝流程，重點研究了OLED生產工藝當中的兩個比較關鍵的生產工藝技術，針對OLED設計提出了適合其器件產品特點的可靠性評價方法

2、，并制定了可靠性評價方法的和測試流程及測試條件：
　　 1）表面預處理工藝研究和改進:主要從生產角度來研究OLED基板表面的預處理工藝的效果，從接觸角和方阻值等方面進行測試比較，在進行UV Ozone，Plasma以及兩者相結合的表面處理后，通過對其的光電特性。發(fā)光效率等測試結果來對各種表面處理的效果進行比較，實驗證明在各種表面預處理工藝中，氧UV Ozone加上氧Plasma的處理對提高器件亮度，發(fā)光效率的貢獻最為顯著。在生產

3、工藝中，同時配置UV Ozone和氧Plasma的預處理設備，結合兩種處理方式，使得生產的OLED的器件可以達到最佳的性能。
　　 2）彩色濾光片CF實行全彩化的工藝研究和改進:基于量產能力角度來考量實現(xiàn)全彩化OLED的技術，比較使用彩色濾色膜（CF）與使用RGB三色排列實現(xiàn)OLED全彩化兩種方法的亮度以及表面平整度等光電參數(shù)。試驗證明：ITO薄膜的粗糙不平、灰塵和針孔等缺陷引起的凸凹不平將引起會使得CF的表面出現(xiàn)屬于微米級別的

4、不均勻問題，導致使用CF的全彩OLED的產品會出現(xiàn)可靠性等質量問題。本文提出針對CF在OLED實現(xiàn)全彩化的生產方式中需要解決CF表面的粗糙度，以及阻隔ITO層下面的有機層上水氣方面的問題的進行改進和優(yōu)化。對于OLED的材料開發(fā)也提出了新的課題，同時也需要對OLED的器件結構的改進，才能實現(xiàn)更好應用于OLED全彩化。
　　 3）OLED可靠性評價方法的研究:現(xiàn)在OLED不像LCD等其他顯示器件已經有了統(tǒng)一的評價方法和行業(yè)標準，制定

5、OLED評價方法基于學習可靠性相關基礎理論知識，在了解和熟悉LCD等相關顯示器件的可靠性評價方法和測試方式的基礎上設計適合OLED顯示器件的可靠性評價方法和測試條件，以達到實行OLED商品化的要求，滿足市場對于OLED器件可靠性的要求。
　　 本文的工藝研究和改進進一步優(yōu)化了OLED關鍵的生產工藝，并制定了OLED的可靠性評價方法，彌補了現(xiàn)有OLED產品上市所缺少地可靠性評價的空白，對于OLED進一步的商品化有著很大的指導意義。