半導體器件集成電路用鍵合金絲產業(yè)化技術的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該論文對"鍵合金絲產業(yè)化技術改造"項目的研究工作作了詳細的描述.我們在對國內外的鍵合金絲生產及研究現(xiàn)狀進行詳細分析與研究之后,確立了項目的研究內容并提出了項目的預期目標.我們認為,加強過程控制是保證微細金絲質量和批量穩(wěn)定的關鍵所在.該課題設置了三個方面的預期目標:質量目標、經濟目標和技術目標.目標確定以后,我們對金絲產品生產現(xiàn)狀中表現(xiàn)最為突出的斷絲現(xiàn)象進行了統(tǒng)計,取樣以及分析.斷絲的主要原因可歸納為以下四種:表面缺陷造成斷絲;雜質造成斷

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