硬脆性材料激光銑削機(jī)理與動力學(xué)過程研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文在利用YAG固體脈沖激光器對硬質(zhì)合金、Al<,2>O<,3>陶瓷、單晶硅片、玻璃等硬脆性材料進(jìn)行銑削試驗研究的基礎(chǔ)上,比較系統(tǒng)地研究了激光銑削原理和工藝,并針對上述不同材料,采用優(yōu)化工藝銑削出各種圖形.主要研究結(jié)果如下:系統(tǒng)研究了不同材料在不同單脈沖能量下激光銑削的微觀形貌,發(fā)現(xiàn)單脈沖能量和所銑削材料不同,其微觀形貌差別較大.比較分析了材料物理特性對幾種不同硬脆性材料激光銑削量和銑削表面質(zhì)量的影響,結(jié)果表明,熔點、導(dǎo)熱率等材料物理性

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