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文檔簡介
1、該文介紹了采用電子束蒸發(fā)方法在Si襯底上制備出了高純度的金屬鋅膜,然后通過二次退火得到了具有六角結(jié)構(gòu)的高質(zhì)量氧化鋅多晶薄膜材料,另外,還采用電子束蒸發(fā)MgO薄膜作為緩沖層二次退火金屬鋅膜的方法制備出了高質(zhì)量氧化鋅多晶薄膜材料和MgZnO合金薄膜材料.并采用X射線衍射譜、反射譜和光致發(fā)光譜、低溫光致發(fā)光譜等測量手段對樣品的結(jié)構(gòu)和光學(xué)特性進行了表征.對氧化鋅的紫外發(fā)光和缺陷引起的可見光發(fā)射的強度變化進行了分析.實驗結(jié)果表明利用電子束蒸發(fā)技術(shù)
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