MEMS器件電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)及在可靠性測(cè)試中的應(yīng)用.pdf

1、AMEMSELECTRICALMEASU砌NGSYSTEMANDUSINGFoRRELIABILITYTESTADissertationSubmiRedtoSoutheastUniversityFortheAcademicDegreeofMasterofEngineeringBYJuYiSupervisedbyProfTangJieyingSchoolofElectronicScienceandEngineeringSoutheastU

2、niversityMay2010摘要摘要隨著MEMS技術(shù)研究的日益深入，MEMS產(chǎn)品已經(jīng)逐漸進(jìn)入消費(fèi)電子、汽車、通信、生物醫(yī)療、航天、國(guó)防等各大應(yīng)用領(lǐng)域，而MEMS的可靠性問題也隨之變得越來(lái)越突出，已經(jīng)成為制約MEMS產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步發(fā)展的重要囚素。電學(xué)測(cè)量技術(shù)易于控制，測(cè)量方便，廣泛應(yīng)用于MEMS可靠性測(cè)量中，并發(fā)揮著重要作用。近年來(lái)，計(jì)算機(jī)與電子測(cè)量?jī)x器相結(jié)合，構(gòu)成了虛擬儀器測(cè)試系統(tǒng)。用戶通過友好的圖形界面操作計(jì)算機(jī)，完成對(duì)被測(cè)量的數(shù)據(jù)采

3、集、分析、處理、顯示、存儲(chǔ)等整套測(cè)試工作。虛擬儀器技術(shù)日益成為重要的測(cè)量技術(shù)。本論文主要基于虛擬儀器概念，運(yùn)用LABVIEW語(yǔ)言編程控制實(shí)驗(yàn)流程，構(gòu)建了實(shí)驗(yàn)室MEMS電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)能夠按照實(shí)驗(yàn)的要求調(diào)用多種測(cè)量?jī)x器的控制程序，并應(yīng)用各種控制方案，對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)，且具備環(huán)境可控的功能，從而實(shí)現(xiàn)了整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程的自動(dòng)化。本文應(yīng)用以上電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)完成了MEMS疲勞電阻測(cè)量實(shí)驗(yàn)。采用外加靜電激勵(lì)的方法使梁發(fā)生振動(dòng)，每隔一定的時(shí)間測(cè)量雙端