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文檔簡介
1、MEMS力學(xué)特性測試及可靠性分析在MEMS的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化過程中具有極為重要的意義,而力學(xué)特性測試又是進(jìn)行可靠性分析的基礎(chǔ)。本論文在調(diào)研和分析了MEMS力學(xué)特性測試技術(shù)及可靠性測試技術(shù)研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,對應(yīng)用相移顯微干涉法測試分析MEMS力學(xué)特性參數(shù)以及在所得參數(shù)的基礎(chǔ)上對微結(jié)構(gòu)在振動和沖擊環(huán)境下的可靠性展開研究,主要完成了以下幾個方面的工作: 1、從方法的類別、應(yīng)用領(lǐng)域、研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢等方面系統(tǒng)地調(diào)研了MEMS力學(xué)特性測試技
2、術(shù)及可靠性分析技術(shù)的概況,分析和討論了MEMS力學(xué)特性測試及可靠性分析的重要性。 2、針對相移顯微干涉技術(shù)在微結(jié)構(gòu)表面輪廓測量中傳統(tǒng)相位解包裹方法的局限性,提出了一種基于模板的廣度優(yōu)先搜索解包裹算法,在相位解包裹的過程中,以由三種不同方法獲得的模板圖像作為參考,繞過標(biāo)記出來的非相容區(qū)域進(jìn)行相位展開,從而得到連續(xù)而準(zhǔn)確的被測表面輪廓。 3、針對相移顯微干涉法在微結(jié)構(gòu)表面輪廓測量中存在的傾斜誤差,提出了一種基于最小二乘法確定
3、調(diào)平基準(zhǔn)面及坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)重構(gòu)表面輪廓信息的方法調(diào)平被測表面,獲得其相對于基準(zhǔn)面的表面高度,從而實(shí)現(xiàn)了傾斜誤差的補(bǔ)償。 4、提出了一種基于相移顯微干涉法測量表面輪廓及有限差分法建模的MEMS力學(xué)特性分析方法,以未加載電壓的微懸臂梁及施加了靜電載荷的微懸臂梁作為測試對象,應(yīng)用相移顯微干涉法測量微懸臂梁的表面彎曲量,并應(yīng)用有限差分法建模解析彎曲量與力學(xué)特性值之間的關(guān)系,將彎曲量的測量值與模擬值進(jìn)行比較來提取特性參數(shù)值,實(shí)現(xiàn)了對微薄膜楊氏模
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