MEMS工藝驗(yàn)證系統(tǒng).pdf

1、針對(duì)MEMS設(shè)計(jì)與加工脫節(jié)的問(wèn)題，本文對(duì)MEMS工藝驗(yàn)證進(jìn)行了研究，旨在使MEMS設(shè)計(jì)者在在進(jìn)行工藝仿真以及MEMS器件加工之前，先對(duì)版圖和工序進(jìn)行可加工性驗(yàn)證，如果版圖或工序是不可加工的，就沒(méi)有必要再進(jìn)行MEMS器件工藝仿真或投入流水線(xiàn)加工了，從而降低了MEMS器件的加工成本，提高了MEMS器件的設(shè)計(jì)效率。MEMS工藝驗(yàn)證包括MEMS工序驗(yàn)證和MEMS版圖驗(yàn)證兩部分。
　　 在MEMS工序驗(yàn)證方面，本文提出了基于MEMS加工狀

2、態(tài)的工序驗(yàn)證方法，并將該方法與專(zhuān)家系統(tǒng)技術(shù)相結(jié)合設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了基于狀態(tài)機(jī)的MEMS工序可加工性驗(yàn)證系統(tǒng)。該系統(tǒng)首先根據(jù)特定的工藝流水線(xiàn)得到工藝過(guò)程的專(zhuān)家知識(shí)；然后根據(jù)MEMS工序流程和專(zhuān)家知識(shí)利用狀態(tài)機(jī)把工序可加工性驗(yàn)證所需的關(guān)鍵狀態(tài)，包括溫度、當(dāng)前MEMS器件的材料組成結(jié)構(gòu)等進(jìn)行重現(xiàn)，從而生成工序?qū)?yīng)的狀態(tài)矩陣；最后由上一步得到的MEMS狀態(tài)矩陣和專(zhuān)家知識(shí)進(jìn)行推理得到該工序可加工性判定結(jié)果。
　　 在MEMS版圖驗(yàn)證方面，本文采用

3、基于布爾運(yùn)算的版圖驗(yàn)證方法設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了基于開(kāi)源項(xiàng)目LayoutEditor的MEMS版圖驗(yàn)證系統(tǒng)。該系統(tǒng)將標(biāo)準(zhǔn)版圖和DRC規(guī)則文件作為輸入，利用LayoutEditor的圖形運(yùn)算模塊進(jìn)行版圖驗(yàn)證，得到版圖可加工性判定結(jié)果，顯示DRC錯(cuò)誤信息，并通過(guò)圖形標(biāo)識(shí)出版圖錯(cuò)誤。MEMS版圖驗(yàn)證系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了常見(jiàn)的設(shè)計(jì)規(guī)則，如最小寬度、最小間隔、最小延伸、以及最小重疊等，還實(shí)現(xiàn)了一些MEMS版圖中特有的規(guī)則，如最大兩端固定梁長(zhǎng)度，最大懸臂梁長(zhǎng)度(單端固定