MEMS虛擬加工工藝研究與實現(xiàn).pdf

1、該文提出了MEMS虛擬加工工藝的概念,著眼于在MEMS設計階段對加工工藝進行仿真.具體說,就是將通常MEMS設計得到的工藝描述文件作為輸入,經(jīng)虛擬加工工藝過程,映像到作為輸出的MEMS部件三維幾何形狀.其中虛擬加工工藝過程采用實際MEMS加工的工藝模型來描述,這就保證了虛擬加工的結果和實際加工結果盡可能接近.同時MEMS虛擬加工工藝是基于虛擬現(xiàn)實技術、用三維圖形學手段來實現(xiàn)的,還保證了MEMS設計結果符合人的觀察習慣,更加直觀、方便,進

2、一步提高了設計的成功率.該文還進一步分析了MEMS虛擬加工工藝的幾項關鍵技術,它包括工藝描述、工藝模型和虛擬加工工藝過程的可視化三部分.工藝模型是虛擬加工工藝的核心,針對目前MEMS加工的研究現(xiàn)狀,該文提出了采用規(guī)則的方式來描述工藝模型;進一步,針對兩個標準MEMS加工工藝給出了用規(guī)則描述的工藝模型.在MEMS虛擬加工工藝實現(xiàn)中,引入了專家系統(tǒng)技術,將已有的工藝知識分別描述成專家系統(tǒng)的知識庫中的規(guī)則,而且推理機部分與知識庫分離,使系統(tǒng)有