二維納米位移測量控制方法研究.pdf

1、分類號：TN219UDC：6815密級：亙坌五編號：二維納米位移測量控制方法研究RESEARCHONCONTROLEDOFMETHOD2DNANOSCALEDDISPLACEMENTMEASURINGSYSTEM學(xué)位授予單位及代碼：量查堡王盔堂!!壘!豎2學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：控制工程(085210)研究方向：當(dāng)電撿型堡迨皇丕筮申請學(xué)位級別：撞劍王猩童些亟論文起止時(shí)間：201209—201403摘要高精度的位移測量系統(tǒng)是機(jī)械、儀表、工具、

2、兵器、宇航等產(chǎn)業(yè)獲得位置精度的基礎(chǔ)，也是上述產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品及技術(shù)不斷進(jìn)步的制約因素。隨著科技的高速發(fā)展，人們對位移測量的精確度、速度、穩(wěn)定性能以及效率等方面有了更高的要求。本論文提出一種新的方法，本方法主要是通過懸梁臂探針掃描規(guī)則的二維光柵樣品，通過PID前饋和反饋算法以及先進(jìn)的神經(jīng)元算法控制Z軸方向進(jìn)行位移移動，對掃描完成的圖像進(jìn)行提取數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，通過峰值檢測方法檢測二維納米光柵的每行以及每列的高低起伏波形的波峰或者波谷的個數(shù)以及每個周期