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文檔簡介
1、本文利用PLD技術(shù)制備光波導(dǎo)生物傳感器所必須的光學(xué)薄膜,并在此基礎(chǔ)上對(duì)傳統(tǒng)的SPR生物傳感器進(jìn)行了改進(jìn)和實(shí)驗(yàn)研究,其具體工作如下:1.采用先進(jìn)PLD(脈沖激光沉積技術(shù))在棱鏡底部通過緩沖層制備出光學(xué)特性優(yōu)良的ZnO薄膜,改變了傳統(tǒng)的光學(xué)制膜方法,大大提高了光學(xué)薄膜的均勻性,并通過XRD(X射線衍射儀)和SEM(掃描電鏡)檢測(cè)了其結(jié)晶情況,用實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)及結(jié)果分析了其沉積溫度和結(jié)晶質(zhì)量之間的相互關(guān)系.2.利用m線與數(shù)值計(jì)算相結(jié)合的方法測(cè)量了光
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