鈦酸鍶鋇非線性鐵電薄膜的尺寸效應研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、電子科技大學碩士學位論文鈦酸鍶鋇非線性鐵電薄膜的尺寸效應研究姓名：趙莉申請學位級別：碩士專業(yè)：材料學指導教師：楊傳仁20050301電子科技大學碩士論文AbstractInthisthesis，therelationshipsofthedielectricpropertieswiththemicrostructures，thicknessesandgrainsizeswerestudiedFirsttheBSTmiflfilmswere

2、preparedattheoptimizedparametersbyRFmagnetronsputteringandannealedbytwoposttreatments：RTAandtube—furnaceHowthefactors，temperature，atmospherecta1，ofthesepostannealedmethodsinfluencedthemicrostructures(crystallization，orie

3、ntation，roughnessdegreeofsurface，andthegrainsizes)ofBSTthinfilmswasinvestigatedAndtheeffectivemethodofcontrollinggrainsizesofBSTthinfilmswasgotatlastSecond，thedielectricpropertiesofBSTthinfilmswasmeasured：thedielectricco

4、nstantWaS746thelosstangentdatawas17％Thecuresofer—f’D—f￡r—VweregotandthereaSonsofwhythesecureswerechangedasthatmannerweregivenandprovedAtlast，basedontheupwardstudies，thedifferencesoftheelectricpropertiesofBSTthinfilmswhic

5、hhaddifferentthicknessesandgrainsizeswereexperimentedTheresultsareasfollows：①theBSTthinfillsofthesamethickness，thelargerthegrainsizes，thehigherthedielectricconstantand△￡were；②withtheincreasingofthicknessesofBSTthinfilms，

6、thedielectricconstantwasincreasedatfirstandappearedamaximumat650nto，thendecreased；③the△ewasalsounequalatdifferentthicknessesThemaxJmulnappearedatthethinnestfilms(260hm)，theminimumatthefilmswhichhadthehighestdielectriccon

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