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文檔簡介
1、 本文以乙酸鋇、乙酸鍶和鈦酸四丁酯為主要原料，采用溶膠－凝膠（sol-gel）法制備BST薄膜，研究薄膜的制備工藝、微結(jié)構(gòu)和介電性能之間的關(guān)系。 為優(yōu)化薄膜制備工藝，研究了各種化學(xué)添加劑對溶膠的粒度分布、均勻性和穩(wěn)定性的影響。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)乙二醇的加入將明顯增大溶膠粒度分布的主峰值并有利于提高溶膠的均勻性和穩(wěn)定性，乙酰丙酮的加入將顯著減小溶膠粒度分布的主峰值。隨著去離子水加入量的增大，溶膠粒度分布的主峰值呈現(xiàn)增大的趨勢，但過量去離子水的
2、加入將降低溶膠的均勻性和穩(wěn)定性；另一方面，去離子水加入量的不足對BST薄膜的微結(jié)構(gòu)和漏電流特性是不利的。 本文通過對溶膠制備工藝的優(yōu)化，薄膜制備過程中退火溫度、底電極和摻雜等的研究，在Pt/Cr/SiO2/Si襯底上制備的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜獲得了最佳的調(diào)諧性能：損耗正切在1MHz時(shí)為0.005，調(diào)諧量和優(yōu)化因子在100KHz和10V外加偏壓下分別為46.1％和27.6，漏電流密度在3V外加偏壓下為2.6×10-7A/c
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