溶膠凝膠技術(shù)制備鈦酸鍶鋇系列鐵電薄膜及其性能研究.pdf

1、p7，f大學碩士學位論文溶膠凝肢技術(shù)制備題目煞熊照塑疊到叢量蒸照墨甚些鰉壁蘊作者左盤完成日期2Q業(yè)生旦!!墮培養(yǎng)單位墮!!l蠡生指導(dǎo)教師盎生冒筮燕專業(yè)越盤鹽墨盞焦生研冗方向盒墊蜘鏈幽搬授予學位日期——年月——日5利用AFM分析測試方法分析了BST系列薄膜的表面形貌，發(fā)現(xiàn)BST系列薄膜表面平整、光滑、致密，晶粒發(fā)育較好，大小均勻。薄膜的表面形貌與退火溫度有一定關(guān)系。晶粒大小隨著退火溫度的升高而變大，同時表面的均方根粗糙度也隨著退火溫度的升

2、高而變大。BST系列薄膜的晶粒平均大小在50～75nm之間，薄膜的均方根粗糙度在3～65nm之間。發(fā)現(xiàn)摻入鉍后，BST薄膜的晶粒變得細小，BST薄膜表面變得更加光滑，均方根粗糙度明顯降低。6XPS分析表明，采用本文溶膠一凝膠工藝所制備的BST、BST：Bi薄膜中Ba、Sr、Ti、O、Bi五種元素均以鈣鈦礦結(jié)構(gòu)中各元素相應(yīng)的化學態(tài)存在。XPS分析BST薄膜中各元素的結(jié)合能表明，鉍摻入BST薄膜中，使BST薄膜中的鋇的結(jié)合能升高。摻鉍1mo