非平衡磁控濺射方法替代電沉積技術(shù)的應(yīng)用工藝研究與設(shè)計(jì).pdf

1、為提高機(jī)械零部件表面耐磨、耐蝕等性能，延長零部件的使用壽命并滿足特殊環(huán)境使用要求，需在機(jī)械零部件表面通過特定的方法涂覆具有特殊性能的涂層。同時(shí)，伴隨著產(chǎn)業(yè)升級(jí)要求和環(huán)保壓力的加大，利用先進(jìn)技術(shù)手段，對(duì)某些環(huán)境污染嚴(yán)重、能耗高的表面處理方法進(jìn)行升級(jí)或替代研究具有重要的現(xiàn)實(shí)意義、經(jīng)濟(jì)價(jià)值和社會(huì)效益。近年來發(fā)展起來的非平衡磁控濺射技術(shù)，被認(rèn)為是較有前途的表面涂層制備方法，本研究針對(duì)采用非平衡磁控濺射技術(shù)對(duì)電沉積硬鉻方法進(jìn)行替代的工藝研究和設(shè)計(jì)

2、，具體包括如下三個(gè)方面：
　　 (1)文獻(xiàn)資料收集、分析及工藝現(xiàn)場調(diào)研：
　　 通過對(duì)資料及工藝的分析、調(diào)研，了解表面涂層制備技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及各方法優(yōu)缺點(diǎn)，重點(diǎn)分析了非平衡磁控濺射技術(shù)制備硬質(zhì)涂層與電沉積硬鉻技術(shù)的原理與工藝特點(diǎn)。通過比較，電沉積硬鉻技術(shù)具有環(huán)境污染嚴(yán)重、能耗高及涂層性能有缺陷等不足，因此，采用新技術(shù)替代電鍍硬鉻在機(jī)械零部件中的應(yīng)用勢在必行。
　　 (2)工藝實(shí)驗(yàn)和分析：
　　 為了驗(yàn)證非平

3、衡磁控濺射技術(shù)替代電沉積硬鉻的工藝可行性并為設(shè)備設(shè)計(jì)提供依據(jù)，本研究在充分掌握非平衡磁控濺射技術(shù)原理的基礎(chǔ)上，針對(duì)液壓桿件的特殊使用要求，在不同的沉積工藝下分別制備Cr、CrN涂層。通過對(duì)涂層的性能分析，驗(yàn)證了方法的可行性，并確定了可用的非平衡磁控濺射工藝參數(shù)。
　　 (3)非平衡磁控濺射設(shè)備相關(guān)設(shè)計(jì)與計(jì)算：
　　 依據(jù)工藝實(shí)驗(yàn)及分析結(jié)果獲得的相關(guān)技術(shù)參數(shù)，作者基于非平衡磁控濺射技術(shù)設(shè)計(jì)一套用于液壓桿件小批量生產(chǎn)的濺射裝