中頻非平衡磁控濺射制備DLC膜的工藝研究.pdf_第1頁
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1、y1212230pJI『大學(xué)碩士學(xué)位論文作者姜鑒完成日期2壁QZ生壘旦量旦培養(yǎng)單位墮趔盤堂專研究方向萱睦撾盤魚墨生授予學(xué)位日期生旦旦嬰型查蘭堡主堂焦堡壅在進氣比例為3x103／3x103To盯的納米硬度高，相對來說這種進氣比例下制備的薄膜能抗砂塵沖刷。中頻非平衡磁控反應(yīng)濺射制各的含氫的類金剛石薄膜的sp3含量不夠高，不能很好的抗擊砂塵沖刷；耐腐蝕性測試性能良好。針對本課題的應(yīng)用背景，還需考慮在試驗設(shè)備條件允許下，進一步提高薄膜表面的致密

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