單片OEICs光器件的激光微細(xì)加工研制.pdf

1、單片光電集成器件(OEICS)是將光器件和電器件兩種性能、結(jié)構(gòu)完全不同的器件集成在同一襯底上,需要解決光電兼容的問題,因此至今尚未完全實用化。激光微細(xì)加工技術(shù)具有“低溫處理”、“局域升溫”的獨(dú)特優(yōu)勢,將該技術(shù)用于單片OEICS的制做,有利于解決其中的光電兼容難題。本文主要工作就是圍繞單片OEICS的激光微細(xì)加工技術(shù)展開的,主要研究如下幾個方面的內(nèi)容:第一:研究了激光微細(xì)加工中的精確對準(zhǔn)問題,提出了相應(yīng)的解決方法1)提出了測溫系統(tǒng)對激光微

2、細(xì)加工區(qū)的縱向精確對準(zhǔn)的方法;2)提出了不可見的激光焦斑和激光微細(xì)加工微小窗口區(qū)精確對準(zhǔn)的方法,設(shè)計了相應(yīng)的工藝裝置。較好的滿足了激光微細(xì)加工工藝的要求;3)解決了用二次離子質(zhì)譜儀測量激光誘導(dǎo)擴(kuò)散雜質(zhì)濃度分布時刻蝕區(qū)和微小擴(kuò)散區(qū)的對準(zhǔn)問題。根據(jù)二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)的工作原理,通過制做專門的擴(kuò)散樣品,實現(xiàn)了刻蝕區(qū)和擴(kuò)散區(qū)的對準(zhǔn)。第二:設(shè)計了激光微細(xì)加工中微小區(qū)域溫度分布的計算機(jī)測量系統(tǒng)。實現(xiàn)了測溫系統(tǒng)和熱斑中心的橫向?qū)?zhǔn)。第三:在激

3、光誘導(dǎo)擴(kuò)散中,擴(kuò)散系數(shù)D與溫度T成指數(shù)關(guān)系,因而T的微小波動變化就會引起擴(kuò)散系數(shù)D的巨大變化,并進(jìn)而對雜質(zhì)濃度分布及p?n結(jié)性能產(chǎn)生重大影響。在實驗中,我們發(fā)現(xiàn)測溫系統(tǒng)的調(diào)焦?fàn)顩r對溫度測量的準(zhǔn)確性和溫度分辨率都有較大的影響,在被測高溫區(qū)面積較小時,影響尤為嚴(yán)重。本論文通過理論計算分析了調(diào)焦對溫度測量的影響,并根據(jù)使用的測溫系統(tǒng)提出了有效的調(diào)焦方法。第四:通過SIMS對樣品的分析,提出了一個測量擴(kuò)散區(qū)只在μm量級或10μm量級范圍內(nèi)的雜質(zhì)