紫外激光微細加工實驗研究.pdf

1、紫外激光自出現(xiàn)以來，以其在材料加工中表現(xiàn)出來的熱效應(yīng)少等優(yōu)點，成為微細加工方面的一個研究熱點。研究各工藝參數(shù)對加工質(zhì)量的影響、摸索參數(shù)選擇規(guī)律具有很重要的意義。本文即采用理論分析與實驗結(jié)合的方式予以研究。
　　本文首先對紫外激光與材料的基本作用機理進行了介紹，對紫外激光加工材料時可能出現(xiàn)的各種消融原理和重要影響因素進行了分析，并論述了前人研究建立的數(shù)理模型，并分別對他們遇到的問題予以說明。針對紫外激光加工中的消融閾值的概念提出本文

2、的理解，通過宏觀和微觀兩個方面對其意義進行探索，建立紫外激光與材料作用過程的微觀模型框架，并通過該模型分析預(yù)測工藝參數(shù)對加工質(zhì)量的影響趨勢。然后進行實驗工作，分別對藍寶石、工具鋼、鈦合金和鋁基碳化硅復(fù)合材料進行了多組對比實驗，分析工藝參數(shù)、環(huán)境條件對于加工的影響；根據(jù)摸索出的規(guī)律，結(jié)合理論分析，選取了較為合理的參數(shù)加工了一個25μm×25μm的方槽。
　　最后，為了研究紫外激光加工參數(shù)的問題，本文建立一個工藝參數(shù)庫系統(tǒng)，在 Win