紫外激光盲孔加工技術(shù)研究.pdf

1、近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體電子產(chǎn)品朝著便攜式和小型化的方向發(fā)展，傳統(tǒng)的鉆孔加工方式已不能滿足微孔，尤其是微盲孔的加工要求。而激光鉆孔具有效率高和可加工盲孔等優(yōu)點(diǎn)，得到了電子工業(yè)等領(lǐng)域的廣泛重視和研究。本文在實(shí)驗(yàn)室自主設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的紫外微加工工藝實(shí)驗(yàn)平臺(tái)上，對(duì)柔性線路板的紫外激光盲孔加工技術(shù)進(jìn)行了系統(tǒng)研究，主要研究?jī)?nèi)容和成果如下：
　　 本文闡述了紫外鉆孔用光學(xué)系統(tǒng)的作用、設(shè)計(jì)思路以及紫外光學(xué)器件的選取原則。紫外鉆孔用光學(xué)系統(tǒng)由紫外擴(kuò)束鏡、光

2、闌、紫外反射鏡、掃描振鏡及紫外遠(yuǎn)心聚焦透鏡五個(gè)部分組成。
　　 分析了紫外激光與柔性線路板相互作用的機(jī)理。采用波長(zhǎng)為355nm的脈沖紫外激光器和紫外鉆孔用光學(xué)系統(tǒng)等部件組成的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)對(duì)聚酰亞胺和銅箔進(jìn)行了定點(diǎn)脈沖鉆孔的實(shí)驗(yàn)。系統(tǒng)的研究了激光功率、激光頻率和加工次數(shù)等工藝參數(shù)對(duì)盲孔入口質(zhì)量、入口孔徑以及孔深尺寸的影響規(guī)律，并提出了一種定點(diǎn)-同心圓復(fù)合鉆孔的新工藝方法，用以改善盲孔的加工質(zhì)量。
　　 模擬和分析了單脈沖紫外激

3、光分別作用于銅箔和聚酰亞胺時(shí)的刻蝕深度。在此基礎(chǔ)上，采用定點(diǎn)-同心圓復(fù)合鉆孔的創(chuàng)新工藝方式，結(jié)合定點(diǎn)脈沖鉆孔實(shí)驗(yàn)時(shí)總結(jié)的部分工藝參數(shù)，在四層柔性線路板上進(jìn)行了一階盲孔的加工實(shí)驗(yàn)，并系統(tǒng)研究了激光功率、激光頻率、掃描間距、光斑直徑、光斑離焦量、鉆孔延時(shí)、開(kāi)關(guān)光延時(shí)和掃描速度等參數(shù)對(duì)盲孔加工質(zhì)量的影響規(guī)律。通過(guò)對(duì)工藝參數(shù)的優(yōu)化，獲得了入口與孔底形貌良好、錐度小和粗糙度低的一階和多階盲孔。
　　 最后，采用優(yōu)化后的工藝參數(shù)對(duì)整塊柔性線