基于激光捕捉技術(shù)的微細(xì)加工.pdf

1、該文首先介紹了現(xiàn)有微細(xì)加工方法并對(duì)其進(jìn)行比較,提出基于激光捕捉(LaserTrapping)實(shí)現(xiàn)微細(xì)加工的新技術(shù).激光捕捉技術(shù)又形象地被稱為光鑷,它是激光光壓的主要應(yīng)用之一,是利用一束高度會(huì)聚的激光形成的三維勢(shì)阱實(shí)現(xiàn)對(duì)微小粒子(亞微米到數(shù)十微米大小)精確定位和操控.文中綜述了這一新型技術(shù)的研究現(xiàn)狀,目前已廣泛應(yīng)用于生物,醫(yī)學(xué)、物理和化學(xué)等領(lǐng)域中,但在微細(xì)加工應(yīng)用方面的研究國(guó)內(nèi)外尚處于起步階段.R.C.GAUTHIER在1997年首次提出

2、將"光鑷"應(yīng)用于微加工領(lǐng)域,可實(shí)現(xiàn)對(duì)微小器件的非接觸式移動(dòng)、操縱和組裝,但R.C.GAUTHIER未提到將它應(yīng)用于表面或體微細(xì)加工.文中創(chuàng)新性的提出將幾個(gè)微米的高強(qiáng)度微粒子(如金剛石、碳化硅、石英等)作為微加工工具,在光鑷的驅(qū)動(dòng)下在加工表面產(chǎn)生移動(dòng)、高速轉(zhuǎn)動(dòng)及振動(dòng),從而完成微米乃至納米級(jí)的加工任務(wù).這種新型加工技術(shù)具有易實(shí)現(xiàn)、易控制、高加工精度、可實(shí)現(xiàn)三維加工的四大特點(diǎn),克服了現(xiàn)有加工方法的缺點(diǎn).該文從理論和實(shí)驗(yàn)兩方面研究對(duì)其進(jìn)行了論證