MOD法制備STO緩沖層及YBCO超導(dǎo)帶材的研究.pdf

1、第二代Y系高溫超導(dǎo)材料具有交流損耗低、磁場(chǎng)下載流能力強(qiáng)、較高的不可逆場(chǎng)等優(yōu)點(diǎn)。然而直接在柔性金屬基帶上沉積超導(dǎo)薄膜存在晶格失配度高和金屬離子和氧離子擴(kuò)散的問題，因此需要在基帶和超導(dǎo)薄膜之間制備緩沖層。MOD方法具有組分容易控制、成本低、易規(guī)模化生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，因此本論文采用MOD法在Ni-5％W合金基帶上制備SrTiO3(STO)緩沖層及YBCO超導(dǎo)薄膜，并對(duì)過(guò)渡層薄膜的結(jié)構(gòu)和表面形貌進(jìn)行了系統(tǒng)的研究。 首先本文對(duì)MOD方法制備ST

2、O薄膜的工藝參數(shù)做了系統(tǒng)的分析，研究了退火溫度、升溫速率、甩膠速率等工藝參數(shù)對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)及表面形貌的影響。并優(yōu)化了工藝參數(shù)，在甩膠速率為2000-3000r/min時(shí)，采用快速退火的方式在975℃下制備出了具有(200)單一取向、表面平整(RMS=3.6nm)、且具有較好重復(fù)性的STO緩沖層。 另外，為了研究全MOD法制備第二代高溫超導(dǎo)帶材的可行性，我們還進(jìn)行了TFA-MOD法在STO緩沖層上制備YBCO超導(dǎo)薄膜的研究。在800℃