MOCVD法制備YBCO帶材超導(dǎo)層工藝研究.pdf

1、第二代YBa2Cu3O7-δ（YBCO）高溫超導(dǎo)帶材因其高的臨界溫度、低的制備成本、良好的電學(xué)性能等優(yōu)點(diǎn)，在強(qiáng)電領(lǐng)域中受到了全世界的關(guān)注。因此在超導(dǎo)電動(dòng)機(jī)、發(fā)電機(jī)、儲(chǔ)能系統(tǒng)、電纜方面有良好的應(yīng)用前景。目前制備YBCO超導(dǎo)層方法很多，而金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）法能夠快速、連續(xù)沉積YBCO薄膜，因此具有極大的開(kāi)發(fā)價(jià)值。
　　本論文是基于自制的MOCVD系統(tǒng)，在沉積有Y2O3/YSZ/CeO2緩沖層的金屬基帶上進(jìn)行YBCO薄膜

2、制備工藝的研究，為后期規(guī)?；苽鋂BCO奠定基礎(chǔ)。研究?jī)?nèi)容如下：
　　首先，對(duì)自制MOCVD系統(tǒng)進(jìn)行進(jìn)一步改進(jìn)。通過(guò)對(duì)進(jìn)液裝置中的噴口進(jìn)行了優(yōu)化，降低了發(fā)生堵塞的幾率，并使金屬有機(jī)源能以霧狀的形式進(jìn)入蒸發(fā)皿，有利于閃蒸的進(jìn)行。同時(shí)將反應(yīng)腔中的加熱方式，由電阻絲加熱改成了由鹵鎢燈提供熱源的光輔助式加熱。
　　其次，改善金屬有機(jī)Ba源的制備方式。通過(guò)添加助配體的方式，有效降低了Ba源的蒸發(fā)溫度，提高了Ba源的利用率，為研究的順利