MEMS三維動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)中數(shù)據(jù)處理技術(shù)的研究與實(shí)現(xiàn).pdf

1、為了實(shí)現(xiàn)對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中微結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的高精度快速可視化測(cè)量,本學(xué)位論文在國(guó)家"863"計(jì)劃MEMS專項(xiàng)課題"MEMS動(dòng)態(tài)特性頻閃干涉視覺三維測(cè)量技術(shù)及系統(tǒng)"(課題編號(hào):2002AA404100)的資助下,對(duì)MEMS三維動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)處理技術(shù)進(jìn)行了較深入的研究.論文研究了多種圖像降噪方法,提出了一種能有效克服包裹相位圖中2π跳變影響的旋濾波算法.在分析了普通濾波、旋濾波和SUSAN濾波的基礎(chǔ)上,得出三種實(shí)用的干涉圖降噪方

2、案.通過(guò)對(duì)模板匹配及其相關(guān)技術(shù)的分析,提出了一種融合了基于立方插值的亞像素步長(zhǎng)相關(guān)算法、序慣相似性檢測(cè)算法(SSDA)、曲面擬合法和單純形法的高速高精匹配定位方法,并將其應(yīng)用于MEMS面內(nèi)運(yùn)動(dòng)測(cè)量.該方法使MEMS面內(nèi)運(yùn)動(dòng)測(cè)量的精度達(dá)到1/50像素.介紹了多種典型的相位去包裹算法,通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了分割線法和質(zhì)量導(dǎo)向圖法的有效性.分析了組間去包裹的必要性,對(duì)基于品質(zhì)圖的種子點(diǎn)選取方法進(jìn)行了有效改進(jìn)以避免"壞點(diǎn)"被選為種子點(diǎn).結(jié)合相位去包裹技