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文檔簡介
1、本文以一種用于結(jié)晶器振動的電液步進缸為研究對象,根據(jù)其結(jié)構(gòu)圖、工作原理及性能要求,通過相關(guān)的計算重新確定了液壓參數(shù)、結(jié)構(gòu)參數(shù)及性能參數(shù),設(shè)計了電液步進缸的具體結(jié)構(gòu),并使用Solid Works軟件建立了該電液步進缸的三維模型。根據(jù)該電液步進缸的工作原理,在功能上將電液步進缸分為步進電動機部分、三通閥控非對稱缸部分及其他傳動部分,并以此在MatLab中的Simulink環(huán)境下建立了非線性數(shù)學模型。
本文使用該電液步進缸的非線性數(shù)
2、學模型,分析了該電液步進缸在空載及額定負載下的動、靜態(tài)性能,仿真結(jié)果表明在半開環(huán)控制下,電液步進缸具有較好的動態(tài)特性和振動波形跟蹤精度,性能滿足設(shè)計要求。通過改變一些影響該電液步進缸性能的參數(shù),來討論電液步進缸的改進方向,確定增加供油壓力、增加閥套節(jié)流邊長度可以提高電液步進缸的響應(yīng)速度及最大振動頻率。為了提高電液步進缸的精度,構(gòu)建了電液步進缸的閉環(huán)控制系統(tǒng)并加入了PID控制器及模糊自適應(yīng)PID控制器。仿真結(jié)果表明在加入PID控制器的閉環(huán)
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