單次旋涂制備光波導(dǎo)傳輸復(fù)合膜.pdf

1、該文的目標(biāo)是通過(guò)向溶膠中加入有機(jī)粘合劑的方法,實(shí)現(xiàn)在普通載玻片上通過(guò)單次旋涂制備厚膜而得到光波導(dǎo).一個(gè)具備幾個(gè)微米厚度的傳輸薄膜是制備光波導(dǎo)的基礎(chǔ),然而用旋涂法單次制備出200nm以上的薄膜是很困難的.為了嘗試通過(guò)單次旋涂制備厚膜,甲基纖維素被當(dāng)作有機(jī)粘合劑加入SiO<,2>溶膠,為了防止開(kāi)裂我們加入了聚乙二醇做化學(xué)控制干燥劑,最終通過(guò)單次旋涂得到了900nm厚的SiO<,2>/MC/PEG膜.為改善膜的質(zhì)量、提高材料性能,對(duì)樣品進(jìn)行了

2、退火.高溫退火可能是提高產(chǎn)品質(zhì)量的一種有效途徑,然而退火所需的高溫也可能同時(shí)會(huì)對(duì)產(chǎn)品有不利影響比如開(kāi)裂、翹曲、變形、晶相變化、原子擴(kuò)散以及其它不良后果.為了研究低溫退火,準(zhǔn)分子激發(fā)態(tài)紫外光輻照技術(shù)被用來(lái)進(jìn)行輔助退火:在0.2 bar O<,2>氣氛和222nm紫外光條件下對(duì)樣品從室溫到300度進(jìn)行處理.對(duì)不同條件下處理的樣品用掃描電鏡(SEM),熱重分析(TGA),傅立葉轉(zhuǎn)換紅外光譜(FTIR),紫外-可見(jiàn)光譜(UV-VIS),X射線光

3、電子能譜(XPS)表征,發(fā)現(xiàn)紅外光譜中約2900cm<'-1>處對(duì)應(yīng)-CH<,2>-的吸收峰在較低溫度下消失,表明紫外光產(chǎn)生的活性氧可提高退火效果,展現(xiàn)了這種退火技術(shù)在光、電材料科學(xué)中的應(yīng)用前景.改進(jìn)了制備工藝以后,通過(guò)單次旋涂得到SiO<,2>/TiO<,2>/Methylcellulose復(fù)合薄膜.樣品在70度下干燥一小時(shí)后,成為2.5微米厚、無(wú)裂而致密的有機(jī)無(wú)機(jī)復(fù)合薄膜,這種薄膜材料的折射率可達(dá)到1.537.它和普通載玻片組成的光