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1、微機(jī)械陀螺采用MEMS工藝制造,由機(jī)械敏感結(jié)構(gòu)和接口電路兩部分構(gòu)成。傳統(tǒng)的微陀螺接口電路常采用模擬電路方式實(shí)現(xiàn),模擬電路的開發(fā)具有匹配性差、誤差補(bǔ)償設(shè)計(jì)困難和噪聲高等缺點(diǎn)。采用數(shù)字方式實(shí)現(xiàn),可以方便地通過數(shù)字算法實(shí)現(xiàn)幅度和相位的控制,并且檢測(cè)電路輸出的數(shù)據(jù)可以直接輸入微控制器或者計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。因此微機(jī)械陀螺的數(shù)字化是近些年來的研究熱點(diǎn)。
本課題在對(duì)振動(dòng)式微機(jī)械陀螺的敏感結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析并通過動(dòng)力學(xué)分析建立了敏感結(jié)構(gòu)的數(shù)學(xué)模型的
2、基礎(chǔ)上,對(duì)微陀螺數(shù)字閉環(huán)自激驅(qū)動(dòng)電路進(jìn)行了系統(tǒng)級(jí)設(shè)計(jì),對(duì)微陀螺的自激振蕩環(huán)路進(jìn)行了理論分析,除設(shè)計(jì)了自動(dòng)增益控制系統(tǒng)和90°移相器外,重點(diǎn)對(duì)單環(huán)四階前饋式ΣΔ調(diào)制器、數(shù)字抽取濾波器等模塊進(jìn)行了設(shè)計(jì)與仿真優(yōu)化。最后對(duì)微陀螺數(shù)字閉環(huán)自激驅(qū)動(dòng)電路整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了系統(tǒng)級(jí)仿真,仿真結(jié)果表明驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)可以在系統(tǒng)啟動(dòng)后迅速將自身噪聲信號(hào)放大并實(shí)現(xiàn)穩(wěn)幅自激振蕩,系統(tǒng)功能得到了驗(yàn)證。
在微機(jī)械陀螺的數(shù)字驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)并進(jìn)行了功能的驗(yàn)證之后,對(duì)其中的
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