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1、半球諧振微陀螺儀是近年來急速發(fā)展起來的一種新型固態(tài)微陀螺儀。由于其抗沖擊性能好,具有良好的穩(wěn)定性、較高的測(cè)量精度、長(zhǎng)期的使用壽命,并且具有獨(dú)特的關(guān)機(jī)抗輻射能力,所以它在空間領(lǐng)域作為姿態(tài)穩(wěn)定控制或慣性測(cè)量單元的關(guān)鍵部件有著其他微陀螺儀所不具備的優(yōu)勢(shì)和發(fā)展空間。本文提出了一種壓電半球諧振微陀螺儀,該微陀螺儀在工藝上采用PZT一體化鑄造成型工藝進(jìn)行制作,在結(jié)構(gòu)上由一個(gè)在表面附有電極的半球殼狀諧振體與一根支柱組成,在原理上利用體聲波的簡(jiǎn)并模態(tài),
2、將壓電效應(yīng)、柯氏效應(yīng)理論和體聲波理論相結(jié)合,從而實(shí)現(xiàn)了角速度檢測(cè)功能。
文章對(duì)上述微陀螺儀的基本結(jié)構(gòu)、工作原理、仿真分析、電路框架設(shè)計(jì)、模擬控制檢測(cè)電路設(shè)計(jì)、數(shù)字控制檢測(cè)電路探究等,分別做了一定的分析和說明。在仿真過程中模擬微陀螺儀的工作狀態(tài)從而評(píng)估了其檢測(cè)精度。在電路框架設(shè)計(jì)過程中對(duì)比并選擇了電路的控制檢測(cè)方案。在模擬控制檢測(cè)電路設(shè)計(jì)過程中,通過對(duì)電路各部分的設(shè)計(jì)及整合,設(shè)計(jì)了微陀螺儀的控制檢測(cè)電路原理圖和PCB圖,制作了電
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