700V高壓集成電路隔離結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì).pdf

1、高壓集成電路是將新型高壓功率器件、高低壓控制電路以及保護(hù)電路等集成在單一硅片上的電路，由于其系統(tǒng)上的優(yōu)勢(shì)：高可靠性和穩(wěn)定性以及低功耗、體積、重量和成本，高壓集成電路對(duì)實(shí)現(xiàn)家用電器、汽車電子等裝置的小型化、智能化和節(jié)能化有著重要的意義。為防止高壓集成電路中高側(cè)電路對(duì)低側(cè)電路的影響，高壓功率器件和高側(cè)電路之間的交叉影響以及器件之間的相互串?dāng)_，高壓集成電路的隔離結(jié)構(gòu)是高壓集成電路正常、有效工作的基礎(chǔ)。
　　本文采用理論分析、TCAD軟件

2、輔助以及流片相結(jié)合的方法，提出了一種700V高壓集成電路隔離結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。論文首先通過介紹高壓集成電路詳細(xì)分析了隔離結(jié)構(gòu)的概念及其意義，然后重點(diǎn)研究了降低表面電場(chǎng)(Reduced SURface Field，RESURF)理論、場(chǎng)板理論以及完全耗盡理論，其中所研究的隔離結(jié)構(gòu)參數(shù)主要包括隔離結(jié)構(gòu)的耐壓和壓差泄漏電流。理論研究發(fā)現(xiàn)RESURF電荷不平衡對(duì)高低側(cè)結(jié)終端耐壓是不利的，同時(shí)場(chǎng)板長(zhǎng)度也需適當(dāng)優(yōu)化，高壓功率轉(zhuǎn)換器件隔離環(huán)的完全耗盡是其耐壓