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文檔簡介
1、隨著微細加工、微光學、微機械和微電子等技術的不斷發(fā)展,越來越多的微器件需要進行精密三維測量.因此對微觀輪廓形貌進行快速準確的檢測,已成為現(xiàn)代精密測試技術與儀器研究的重要課題.共焦測量方法由于具有高精度、高分辨率及易于實現(xiàn)三維成像數(shù)字化的獨特優(yōu)勢而在微觀輪廓檢測中得到廣泛重視.近年來,全場并行共焦檢測技術引起各國專家的普遍關注.該技術將單點掃描變?yōu)槎嗦凡⑿刑綔y,同時對被測表面的不同點進行檢測,實現(xiàn)了全場同步測量.該論文工作是在國家自然科學
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