單晶硅超光滑光學(xué)元件加工工藝及檢測(cè)技術(shù)的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、同步輻射超光滑X射線光學(xué)元件的加工工藝與檢測(cè)技術(shù)是一個(gè)新興的領(lǐng)域，工作在短波段的光學(xué)元件的加工工藝及檢測(cè)是軟X射線光學(xué)基礎(chǔ)技術(shù)研究的基本內(nèi)容之一。 本文敘述了同步輻射光束線光學(xué)系統(tǒng)的特點(diǎn)，闡述了我國(guó)同步輻射光學(xué)元件的超光滑加工及檢測(cè)技術(shù)的研究目的、意義與背景以及國(guó)內(nèi)研究概況、與國(guó)外水平對(duì)比的差距。系統(tǒng)介紹了超光滑表面加工技術(shù)國(guó)內(nèi)外現(xiàn)狀及各種加工技術(shù)的原理和方法，以及同步輻射光學(xué)元件各種檢測(cè)技術(shù)。 本文著重講述了單晶硅超光

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