采用等離子體浸沒(méi)注入方法對(duì)材料進(jìn)行改性的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、等離子體浸沒(méi)注入是近年來(lái)興起的一種新型的材料改性手段。相比于傳統(tǒng)的束線(xiàn)離子注入技術(shù),等離子體浸沒(méi)注入克服了視線(xiàn)效應(yīng)的限制,具有注入效率高、對(duì)三維物體處理能力強(qiáng)、與集成電路工藝相兼容的特點(diǎn),在金屬材料、高分子材料、陶瓷材料等的改性方面具有廣泛的應(yīng)用前景。我們主要參與了等離子體浸沒(méi)注入設(shè)備部分的搭建工作和后期的調(diào)試、故障的處理方面,且對(duì)若干種材料進(jìn)行了等離子體浸沒(méi)注入的改性工作,并分析表征了注入前后樣品各種性質(zhì)發(fā)生的改變。另外,使用相關(guān)軟件

2、進(jìn)行了一些模擬工作。
　　 使用等離子體浸沒(méi)注入設(shè)備對(duì)AISI316不銹鋼進(jìn)行了注N的工作,并分析了注N前后316不銹鋼在抗點(diǎn)蝕性能上發(fā)生的變化,探討了點(diǎn)蝕電位提高的原因,并提出了一種新的說(shuō)法。
　　 使用等離子體浸沒(méi)注入設(shè)備對(duì)AISI304不銹鋼進(jìn)行了注N的工作,分析了注入后的樣品與注入前相比，在抗點(diǎn)蝕性能上的變化。并且利用XRD、XPS、SIMS等各種表征手段對(duì)變化的原因進(jìn)行了分析。
　　 使用等離子體浸沒(méi)注

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