10英寸CuO納米線冷陰極場發(fā)射顯示器陰極基板制作工藝研究.pdf

1、場發(fā)射顯示器(FED)具有低功耗、高亮度、寬視角、響應(yīng)時(shí)間短等優(yōu)點(diǎn)，是非常有應(yīng)用前景的新型平板顯示器件。近期，人們發(fā)現(xiàn)納米線冷陰極具有優(yōu)異的場發(fā)射特性。但是，如何低成本制備大面積的帶柵極的納米線冷陰極FED器件仍然是一個(gè)難題。
　　 本論文簡要綜述了場發(fā)射顯示器件的工作原理、器件結(jié)構(gòu)和研究狀況，重點(diǎn)介紹10英寸背柵極和復(fù)合柵極結(jié)構(gòu)的氧化銅納米線冷陰極FED陰極基板的制作工藝的研究結(jié)果。本論文的主要研究結(jié)果如下：
　　 1

2、.采用有限元仿真軟件模擬了背柵極結(jié)構(gòu)和復(fù)合柵極結(jié)構(gòu)FED的電場分布，模擬結(jié)果證明了這兩種結(jié)構(gòu)在FED器件應(yīng)用中的可行性。
　　 2.發(fā)展了采用濕法刻蝕制作10英寸背柵極結(jié)構(gòu)和復(fù)合柵極結(jié)構(gòu)FED的陰極基板的工藝技術(shù)，驗(yàn)證了10英寸面積內(nèi)制作均勻顯示的帶柵極結(jié)構(gòu)納米線FED的可行性。進(jìn)一步了優(yōu)化電子束蒸發(fā)蒸鍍氧化鋁絕緣層的工藝，提高了絕緣層耐壓性能。優(yōu)化了器件結(jié)構(gòu)和濕法刻蝕工藝，提高了柵極與背電極接觸的可靠性。
　　 3.研