機器視覺在全自動探針臺中的應用.pdf

1、隨著半導體行業(yè)的發(fā)展，晶圓片測試成為集成電路生產制造的一道重要的工序，準確的測試能提高產品的質量，減少不必要的損耗。測試的方法多種多樣，探針測試是其中最主要的方法，所以探針測試系統(tǒng)成為現代工業(yè)控制中一個獨立的研究領域。人們對探針臺的研究已有二十年的歷史，在這段時間里，探針臺經歷了由手動到全自動的發(fā)展歷程，現在國際上已經重點研究全自動探針臺。國內對探針臺的研究起步較晚，在全自動領域尚未有完善的發(fā)展，主要體現在對視覺系統(tǒng)，溫控系統(tǒng)和全反饋系

2、統(tǒng)的研究不夠。
　　本文首先研究了探針系統(tǒng)技術和視覺處理技術的發(fā)展現狀，詳細研究國內已有的全自動探針測試系統(tǒng)，包括其硬件結構和軟件結構，分析其不足之處。接著利用機器視覺理論，重點研究模板匹配，邊緣檢測，圖像連通性分析等圖像處理算法，結合現有探針臺的結構，在全自動探針測試臺上實現視覺定位與檢測的功能，包括：晶圓中心自檢，晶圓測試芯粒定位，晶圓片自動掃直，芯粒墨點識別，以及自動對針項目，這幾項功能都是國內探針系統(tǒng)較薄弱的環(huán)節(jié)，然后對各