非晶軟磁薄膜巨磁阻抗效應(yīng)及應(yīng)力阻抗效應(yīng)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、本文系統(tǒng)研究了非晶態(tài)FeCuNbCrSiB軟磁薄膜材料的最佳制備工藝條件及在最佳條件下制備的FeCuNbCrSiB單層膜、三明治結(jié)構(gòu)多層膜的巨磁阻抗效應(yīng)及應(yīng)力阻抗效應(yīng)。主要研究結(jié)果如下：

2、 1.研究了單層膜的最佳工藝條件。結(jié)果表明，最佳工藝條件為：氬氣氣壓4×10-2Torr，氬氣流量13SCCM，濺射功率600W，濺射中施加外磁場(chǎng)為16KA/m。2.實(shí)驗(yàn)研究發(fā)現(xiàn)，非晶態(tài)三明治結(jié)構(gòu)多層膜的GMI變化率最大值可達(dá)-21％左右，而相同僅有4.3％左右。3.實(shí)驗(yàn)研究發(fā)現(xiàn)，曲折狀三明治結(jié)構(gòu)多層膜的GMI變化率最大值可達(dá)-65％左右，另外發(fā)現(xiàn)各層寬度對(duì)樣品的

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