SECS-GEM在半導(dǎo)體生產(chǎn)計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)中的應(yīng)用研究.pdf

1、越來(lái)越多的半導(dǎo)體廠商開(kāi)始考慮在半導(dǎo)體后道生產(chǎn)中采用自動(dòng)化控制，目前還沒(méi)有開(kāi)發(fā)出非常成功的技術(shù)能夠滿足變化多端的后道工廠。本文提出的基于SECS/GEM的半導(dǎo)體生產(chǎn)計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)為后道自動(dòng)化提出了一種解決方案。所有設(shè)備全部都通過(guò)使用SECS標(biāo)準(zhǔn)接口連接到單元控制器及更高級(jí)別的MES和工廠計(jì)劃信息系統(tǒng)，系統(tǒng)除了能完成通常的設(shè)備監(jiān)視和控制、數(shù)據(jù)搜集、配方管理等功能外，還實(shí)現(xiàn)了單一元件追蹤，具有Strip Map管理，缺陷管理及多芯片管理等

2、功能。半導(dǎo)體廠商通過(guò)實(shí)施全自動(dòng)化改善了生產(chǎn)力，同時(shí)減少生產(chǎn)周期和場(chǎng)地占用率，并通過(guò)最小化人工操作和過(guò)程的連貫性帶來(lái)質(zhì)量和可靠性的提升。 本文的主要工作和成果如下： 1．闡述了半導(dǎo)體生產(chǎn)計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)構(gòu)成及現(xiàn)狀，分析了半導(dǎo)體制造自動(dòng)化存在的問(wèn)題。 2．介紹了SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的框架及定義。 3．提出了使用SECS/GEM作為設(shè)備間共同的通訊標(biāo)準(zhǔn)接口構(gòu)建半導(dǎo)體生產(chǎn)自動(dòng)化線，使設(shè)備可快速地整合在CIMS的