計(jì)算機(jī)仿真及其在半導(dǎo)體后端制造中的應(yīng)用.pdf

1、半導(dǎo)體制造是一個(gè)流程高度復(fù)雜，資金高度密集的加工過程，與其他產(chǎn)品的制造過程相比，半導(dǎo)體制程的特殊性表現(xiàn)在產(chǎn)品工序繁多，系統(tǒng)動(dòng)態(tài)行為十分復(fù)雜，涉及許多不確定的變化因素，所以很難運(yùn)用一般的解析方法來(lái)對(duì)其進(jìn)行分析，在這種情況下，計(jì)算機(jī)仿真技術(shù)就顯得格外重要。計(jì)算機(jī)仿真是用于分析復(fù)雜系統(tǒng)，解決科研、管理和工程技術(shù)三難題的有效工具。計(jì)算機(jī)仿真的基本思想就是建立一個(gè)能夠模仿某個(gè)真實(shí)系統(tǒng)(設(shè)計(jì)方案)動(dòng)態(tài)行為的計(jì)算機(jī)模型，利用該模型來(lái)對(duì)真實(shí)系統(tǒng)的行為變

2、化進(jìn)行數(shù)值模擬實(shí)驗(yàn)，通過重復(fù)運(yùn)行的模擬實(shí)驗(yàn)以及對(duì)模擬輸出數(shù)據(jù)的分析來(lái)達(dá)到對(duì)該系統(tǒng)在給定條件下的動(dòng)態(tài)行為的了解評(píng)估，進(jìn)而改進(jìn)或者優(yōu)化系統(tǒng)的目的。 本文首先通過對(duì)計(jì)算機(jī)仿真的基本原理進(jìn)行簡(jiǎn)單介紹和分析，進(jìn)一步闡述了系統(tǒng)仿真建模的一般步驟及方法，并簡(jiǎn)單介紹了當(dāng)前比較流行計(jì)算機(jī)仿真軟件-ARENA。接著，透過半導(dǎo)體后端制造既封裝測(cè)試階段中常見的一些問題，探討了如何利用計(jì)算機(jī)仿真技術(shù)解決諸如改善制程、優(yōu)化產(chǎn)線布置、縮短生產(chǎn)周期、提高設(shè)備利

3、用率、減少在制品和材料存量、以及合理配置人機(jī)配比等一系列生產(chǎn)和管理問題。之后，本文討論了如何對(duì)計(jì)算機(jī)仿真建模進(jìn)行檢驗(yàn)，其中包括了仿真模型的功能性驗(yàn)證以及有效性核實(shí)。最后，本文也提出了現(xiàn)有的仿真技術(shù)中存在一些問題以及發(fā)展方向，比如并行化，網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用處理，面向?qū)ο蟮姆抡婕夹g(shù)等等。 應(yīng)用實(shí)踐表明，計(jì)算機(jī)仿真技術(shù)對(duì)于解決半導(dǎo)體后端生產(chǎn)中的問題是可行并且有效的，能夠很方便地構(gòu)建出復(fù)雜的動(dòng)態(tài)生產(chǎn)系統(tǒng)模型，極大地縮短了項(xiàng)目開發(fā)周期，避免不必要的