四探針相關(guān)問題的研究.pdf

1、在計(jì)算機(jī)技術(shù)飛速發(fā)展的今天，計(jì)算機(jī)的存儲容量日益增大，這樣就對集成電路的制造工藝提出了更高的要求，要求集成電路的圖形更加微細(xì)化，電路尺寸不斷縮小，如今投入大規(guī)模生產(chǎn)的集成電路的特征尺寸已經(jīng)達(dá)到了90nm，這樣一方面要求圓片直徑不斷增大以提高生產(chǎn)率，另一方面對晶體的完美性、機(jī)械及電特性也提出了更為嚴(yán)格的要求。特別是微區(qū)的電學(xué)特性及其均勻性已經(jīng)成為決定將來器件性能優(yōu)劣的關(guān)鍵因素。因此，微區(qū)電阻率的測試成為芯片加工之中的重要工序。作為集成電路

2、測試手段的四探針技術(shù)有著重要的應(yīng)用，但是目前的四探針技術(shù)還存在著一些不足。因此本文進(jìn)行了以下的研究： 本課題的創(chuàng)新點(diǎn)有以下四點(diǎn)： 1、提出了一種新的神經(jīng)計(jì)算的方法，其最大的特點(diǎn)是在進(jìn)行特定的權(quán)值調(diào)整時(shí)無須加入學(xué)習(xí)率。在實(shí)際的計(jì)算中利用這種方法進(jìn)行曲線擬合能方便地求出擬合多項(xiàng)式的系數(shù),簡化了計(jì)算過程，便于編程計(jì)算。 2、將這種方法應(yīng)用到范德堡函數(shù)的多項(xiàng)式擬合中，作出了范德堡函數(shù)函數(shù)圖象,使得四探針微區(qū)測量技術(shù)更具實(shí)