鉛基鐵電薄膜材料在熱、電載荷作用下的疲勞特性.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、鐵電材料由于具有鐵電特性和壓電特性而在信息儲存、通信、導航、精密測量、機械等眾多領域得到廣泛的應用.隨著微電子技術和器件高度集成化的發(fā)展,人們對薄膜材料性能的要求越來越高,因此鐵電薄膜材料的制備和性能研究成為目前國際上高度關注的研究課題.然而鐵電薄膜在使用過程中存在疲勞問題,它會不可避免地受外界環(huán)境以及自身工作條件的影響,即經歷外界溫度的循環(huán)和存儲過程中不斷的極化反轉后其性能將發(fā)生變化.該文對鐵電薄膜在循環(huán)的熱載荷和電載荷作用下的疲勞特

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