激光在光學(xué)元件清洗中的應(yīng)用研究.pdf

1、激光清洗技術(shù)是指采用激光束照射被污染表面，使表面的污染物發(fā)生瞬間蒸發(fā)或剝離，以達(dá)到潔凈的目的。激光清洗滿足了工業(yè)上去除表面亞微米量級粒子的需要。與傳統(tǒng)的清洗方法相比，激光清洗技術(shù)在環(huán)境保護(hù)和高精度要求方面具有明顯的優(yōu)勢。衡量清洗效果最常用的是潔凈度這一參數(shù)，即被去除的污染物與原污染物量的比值。也可以通過顯微鏡、精密天平等儀器來評價清洗效果。
　　本論文采用理論分析與實(shí)驗(yàn)研究的方法，全面研究了連續(xù)CO2激光和脈沖Nd：YAG三倍頻激

2、光對K9玻璃表面上的三種實(shí)驗(yàn)室常見的污染物（指紋、皮膚油脂和硅油）的清洗作用，以及對潔凈的化學(xué)膜層的作用；使用了光學(xué)顯微鏡、紫外－可見分光光度計、傅立葉變換紅外－拉曼光譜儀和界面張力測量儀獲得了上述不同表面在不同參數(shù)激光照射后的檢測數(shù)據(jù)，得到了如下的研究結(jié)果：
　　1.根據(jù)顯微照片和透過率譜，發(fā)現(xiàn)皮膚油脂所造成的污染最為嚴(yán)重，指紋其次，硅油最輕微。拉曼光譜和接觸角測量結(jié)果顯示，被指紋和皮膚油脂污染的樣品具有相似的特點(diǎn)。
　　

3、2.在CO2激光的照射下，三種污染物微粒的線度都隨著激光功率的增加而減小，這說明激光清洗有明顯效果，但污染物還不能被完全去除。當(dāng)功率高達(dá)一定程度時，基片將出現(xiàn)裂紋，顯示出清洗效果與基片的激光損傷閾值之間的矛盾。對于被皮膚油脂污染的基片，增大激光功率能夠使其透光性得到較大的改善。接觸角測量結(jié)果顯示激光照射后，受皮膚油脂污染的樣品與潔凈基片最為接近。
　　3.在Nd：YAG三倍頻激光的照射下，對于被污染的膜層，在同等能量激光的照射下，