化學(xué)復(fù)合鍍技術(shù)在硅基外延層轉(zhuǎn)移中的初步應(yīng)用研究.pdf

1、本論文主要對單晶硅上的外延薄膜轉(zhuǎn)移到化學(xué)鍍鍍層進(jìn)行了初步研究。通過化學(xué)鍍的方法，增強(qiáng)外延薄膜的耐腐蝕性和硬度，同時(shí)對單晶硅襯底進(jìn)行腐蝕。研究表明，這種鍍層轉(zhuǎn)移具備可行性。 為增強(qiáng)外延薄膜的耐腐蝕性能，實(shí)驗(yàn)研究出化學(xué)復(fù)合鍍Ni-P-PTFE技術(shù)，在膜的外層鍍覆Ni-P-PTFE鍍層。利用SEM，EDS分別對鍍層的微觀形貌和鍍層中的PTFE含量進(jìn)行了表征，確定最佳制備工藝：鍍液的pH=4.7，溫度為92℃，PTFE乳液20ml／L，

2、分散劑FC-134 0.8g/L，使鍍層中PTFE的含量重量百分比最高達(dá)到20％。利用電化學(xué)阻抗測試對一系列不同含量PTFE的鍍層的耐腐蝕性能進(jìn)行了表征。結(jié)果表明，鍍層的PTFE含量越高，耐腐蝕性能越強(qiáng)。 為方便加工處理，實(shí)驗(yàn)對化學(xué)復(fù)合鍍Ni-P-SiC技術(shù)進(jìn)行了研究。并利用動態(tài)超顯微硬度計(jì)和激光粒度分析儀分別對鍍層的硬度和鍍液中的粒子粒度進(jìn)行了分析。結(jié)果表明，Ni-P-SiC鍍層的硬度優(yōu)于Ni-P鍍層，鍍層中SiC粒子的粒徑集