嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、在21世紀(jì)，微電子技術(shù)是信息產(chǎn)業(yè)的主要技術(shù)支撐之一，光刻技術(shù)一直是推動集成電路(IC)制造業(yè)向前發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)之一，廣泛應(yīng)用于電子封裝、光電設(shè)備、探測器、MEMS設(shè)備和顯示器等領(lǐng)域。
　　本課題主要研制用于12英寸晶圓預(yù)對準(zhǔn)的嵌入式控制系統(tǒng)。
　　光刻機(jī)是微電子器件制造業(yè)的重要工具，晶圓處理系統(tǒng)是光刻機(jī)的重要組成子系統(tǒng)，晶圓預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)是晶圓處理系統(tǒng)的核心，其對準(zhǔn)精度直接影響硅片的曝光精度，因此對晶圓預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)運(yùn)動和控制精度要

2、求很高，使得該系統(tǒng)的制造成本變得極其昂貴，因此，研制具有小型化、集成化特點(diǎn)的高精度、高效率的晶圓預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)具有重要的實(shí)用價(jià)值。
　　首先，根據(jù)晶圓預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)的功能、工作流程確定了系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，并確定了晶圓預(yù)對準(zhǔn)的檢測算法，運(yùn)用最小二乘圓法作為系統(tǒng)晶圓圓心的檢測方法，采用邊緣變化率算法查找缺口范圍，再通過圓弧擬合的方法求出缺口中心位置。在此基礎(chǔ)上得出了所設(shè)計(jì)嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)控制系統(tǒng)的控制任務(wù)。
　　其次，選定了嵌入式控制器的數(shù)字

3、信號處理器芯片TMS320LF2407A，根據(jù)系統(tǒng)的控制任務(wù)確定了嵌入式控制系統(tǒng)的總體控制結(jié)構(gòu)，分析了嵌入式控制器各項(xiàng)的控制功能，在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了硬件電路的設(shè)計(jì)。然后基于晶圓預(yù)對準(zhǔn)的檢測算法進(jìn)行了嵌入式控制系統(tǒng)的軟件設(shè)計(jì)。所設(shè)計(jì)的控制系統(tǒng)可以在脫離PC機(jī)的基礎(chǔ)上完成對晶圓預(yù)對準(zhǔn)的控制，對預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)向小型化、集成化方向發(fā)展有一定的借鑒意義。
　　最后，對晶圓預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行精度分析，驗(yàn)證了系統(tǒng)在設(shè)計(jì)上滿足晶圓預(yù)對準(zhǔn)的精度要求；同時(shí)運(yùn)用