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1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文吸附效應(yīng)對(duì)NEMS器件特性的影響研究姓名：劉同慶申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：于虹20070326AbstractMicro—electromechanicalsystem(MEMS)isasystemwhichcontainsmicroelementsofheat，magnetism，liquidandoptics，mixessiliconmicroprocessingandfinemach
2、ining，together、^，itIImicroelectronicfabricationIthaswideapplicationinmanyareasNano—electromechanicalsystem(NEMS)witllllanoscaledimensionandsomespecialcharacteristics，isdevelopingfromMEMSNEMShasbggomeattractivemo∞andmore，
3、andhasbeenmuchdevelopedinlastfewyears，becauseitCanoffermanyexcellentcharacteristiCSHoweversomeclassicalmechanicstheoriesmaynotbeappliedtollanodevices，forexample，Yo岫g’Smodulus，ismuchdifferentbetweenthevaluesofmeasureandca
4、lculationbyclassicaltheoryInaddition，theinfluenceofthermoelasticdampingairdampinglatticedefects，andphononscatteringondevicecharacteristicsmaychangeWithsurfacetovolumeratiobeinglargerandlargertheproportionofsurfaceenergyi
5、shigherandhigherandthesurfaceeffectbecomesmoreimportantTheinfluenceofadsorptiondesorptionisverysmallandCanbeignoredinMEMS，butitshouldbeconsideredinNEMS，andithasbecomeanimportantfactorwhichaffectsNEMSdevicesThetopicofthet
6、hesisistostudytheinfluenceofadsorptiondesorptiononthecharacterofthenanobeamsThestudyfocusesonthreeaspects：theeffectofadsorptiondesorptiononresonantfrequencyofdoubleclampednanobeams，theinfluenceonQfactorandsurfacestressin
7、ducedbyadsorptiondesorptionThestudyontwoformeraspectsiscardedouttheoreticallyandthet11irdpartisstudiedbyusingsoftwareofmoleculardynamicsItisfoundthattheeffectofadsorptiondesorptiononresonantfrequencyisverylarge，muchlarge
8、rthanthatofairdampingAdsorptiondesorptionmayalsoaffecttheQfactordependingonenvironmentsuchastemperatureandairpressureAdsorption—desorptionCallinducesurfacestress，whichCanmakenanocantileverbendInaword，innanoscale，theinflu
9、enceofadsorptioncall’tbeignored，itmaybecomedominantfactoratsomeaspectsTheresultsCanbehelpfultodesignNEMSdevicesandanalyzedevicecharactersKeyword：Nanoelectromechanicalsystem(NEMS)，effectofadsorption，resonantfrequencyquali
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